受賞日: 2024年10月26日
氏名 職名/学年: 山崎 雄矢 修士1年
所属: 工学院 人間機械システムデザイン専攻 バイオ・ロボティクス講座 精密計測学・ロボティクス研究室A
授与団体: Conference Committee of ICPE2024 Sendai
賞名: Outstanding Paper Award
受賞論文名,研究題目名または受賞理由:
「Development of a modified optical head for measurement of the pitch deviation of a diffraction grating having a pitch narrower than laser wavelength (波長よりも短いピッチを有する回折格子のピッチ偏差を評価する修正光学ヘッドの開発)」
問い合わせ先: Tel 011-706-6408, E-mail yuki.shimizu[a]eng.hokudai.ac.jp (清水裕樹)