研究室紹介
収差補正走査透過型電子顕微鏡(Titan)
収差補正走査透過型電子顕微鏡
Cs-corrected Scanning Transmission Electron Microscope
型式 : Titan3 G2 60-300
FEI Company
設置場所 : 新世代棟1階
スペック
加速電圧：60kV,80kV,200kV,300kV
TEM分解能：70pm(加速電圧300kV)
STEM分解能：70pm(加速電圧300kV)
XFEG電子銃(高輝度FE電子源)
付属機器
二軸傾斜ホルダー
トモグラフィー用ホルダー
ウィーンフィルター型モノクロメーター
照射系球面収差補正器
結像系球面収差補正器
Super-X EDSシステム(SDDを４基搭載)
GIF QuantumER
主な用途
TEM/STEM高分解能観察
EDSマッピング
EELS分析
電子線トモグラフィ
解析ソフトウェア等
Digital Micrograph (Gatan)
Inspect 3D (FEI) 3次元構造再構築
Amira (FEI) 3次元構造評価
Esprit 1.9 (Bruker) EDS解析