研究室紹介

複合量子ビーム超高圧電子顕微鏡
Multi-beam Ultra-high Voltage Electron Microscopy

型式 ： JEM-ARM-1300

日本電子株式会社

設置場所 : 新世代棟1階

スペック

加速電圧：1250kV(最大1300kV)

粒子分解能：0.118nm

付属機器

二軸傾斜加熱ホルダ

液体窒素冷却ホルダ

300kVイオン加速器

400kVイオン加速器

CCDカメラ

レーザー(He-Cd・YAG・フェムト秒)

主な用途

超高分解能構造像・格子像の観察

厚膜試料の観察

試料加熱・冷却過程のその場観察

イオン・レーザー・電子線照射その場観察