研究室紹介
研究設備一覧
電子顕微鏡付属分析機器
| 装置名 | レーザー照射 | イオン照射 | 加熱ホルダー | 冷却ホルダー | EDS | EELS | トモグラフィ | ローレンツ | EBSD | |
| TEM | 複合量子ビーム超高圧電子顕微鏡 (イオン加速器含む) JEM-ARM-1300 |
○ | ○ | ○ | ○ | |||||
| レーザー超高圧電子顕微鏡 H-1300 ※R2年度末で廃止 |
○ | ○ | ||||||||
| 汎用200kV透過型電子顕微鏡 JEM-2000FX |
○ | |||||||||
| TEM/ STEM |
電界放射型200kV透過型電子顕微鏡 JEM-2010F |
○ | ○ | |||||||
| 収差補正走査透過型電子顕微鏡 Titan G2 |
○ | ○ | ○ | ○ | ||||||
| SEM | 電界放射型走査電子顕微鏡 JSM-7001FA |
○ | ○ |
電子顕微鏡付属分析機器
集束イオンビーム加工装置（Micrion JFIB-2100）
マイクロピックアップ装置
イオン研磨装置（Gatan DuoMil Model 600）
精密イオン研磨装置（Gatan PIPS Model 691）
極低エネルギーイオン研磨装置（日本フィジテック Gentle Mil）
ツインジェット電解研磨装置（モノリス TenuPol 5）
RFマグネトロンスパッタ蒸着装置（日本電子 JEC-SP360）
真空蒸着装置
ディンプルグラインダー
平面研磨装置
精密研磨装置
高速切断機
精密切断機
低速切断機
ホットプレート
ディスクカッター
打抜器
真空封入装置
アーク溶解炉
各種電気炉
圧延機