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About Lab. › 研究設備紹介
このページでは、表界面微細構造研究室が所有している研究設備をご紹介いたします。
卓上顕微鏡 Miniscope（HITACHI, TM-1000）
焦点深度の深い鮮明なマイクロレベルの画像を得ることができます。低真空系の採用により、絶縁物試料であっても蒸着処理をすること無く簡単に撮影することが可能です。
ウルトラマイクロ天秤（METTLER TOLEDO, MX5）
試料の質量を 1 µg（1 マイクログラム、0.000001 g）まで測定できる極めて精密な天秤です。自動開閉装置を搭載し、1℃の温度変化に対しても自己補正を行う精密計量機器です。
パルスNd-YAGレーザー照射装置（Spectra-Physics, GCR-130-10, 50）
パルス幅 8 ns（8 ナノ秒、0.000000008 s）の超短時間に高出力エネルギーを有するレーザービームを照射する装置です。金属や有機物を溶融・蒸発・プラズマ化し、微細加工に応用しています。
ウルトラマイクロトーム（LEICA, ULTRACUT S）
透過型電子顕微鏡（TEM）用の超薄膜試料を作製する装置です。TEMにより観察したい試料の厚さを、ダイヤモンド製のナイフを用いて数 10 nm（0.00001 mmオーダー）に加工します。
マグネトロンスパッタリング装置（JEOL, JFC-1600）
走査型電子顕微鏡（SEM）用試料の蒸着処理や、表面処理におけるナノメーターレベルの薄膜形成に用います。
共焦点走査型レーザー顕微鏡 CSLM（LASERTEC, 1SA21）
共焦点光学系、レーザーおよびコンピューターを用いることにより、理想的には無限の焦点深度を有する顕微鏡画像を得ることができます。断面試料を作製すること無く、深さ情報を得ることができます。
原子間力顕微鏡 AFM（SII, SPA400）
ナノメートルオーダーの表面観察装置です。試料表面の極めて微細な凹凸を検出することができます。また、電気化学セルを用いることにより、電気化学反応のその場観察にも対応しています。
その他、各種電気化学測定装置（ポテンショスタット、定電流電源、無抵抗電流計、インピーダンス測定装置）、分光光度計、電気炉、CVD、自動研磨装置などを所有しています。
北海道札幌市北区北13条西8丁目
国立大学法人北海道大学大学院工学院
材料科学専攻 マテリアル設計講座
表界面微細構造研究室