プラズマ装置

極薄材料合成用のマグネトロンスパッタ装置

プラズマの挙動や材料表面の評価では、これまでの常識や理論では解明できないことが多々あります。プラズマ研究や表面現象の解明には実験がどうしても必要になります。

プラズマによる材料合成や表面改質の実験では、ECRプラズマ装置、ECRイオン照射装置、直流放電装置、高周波プラズマ装置（マグネトンスパッタ装置）などを使用しています。核融合プラズマと壁との相互作用を解明・制御するための装置は、ECRイオン照射装置、グロー放電装置、昇温脱離装置、電子ビーム蒸着装置などを用いています。また、大型ヘリカル装置、トカマク装置などにおいても材料を取り付けて照射実験をしています。

材料合成・表面改質した後、あるいは核融合プラズマに曝した後、表面の原子状態がどう変化したか、表面の結合や構造がどう変化したか、ナノスケールの形態がどう変化したかを、種々の分析装置で解析しています。

分析と観察の装置

Under Construction

レーザ装置

Under Construction